Druckmesstechnik
Piezoresistive Silizium-Sensoren
- Date & Time
- 26.11.2025
- 09:00–17:00 h
- Place
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- CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
- Erfurt
- Regular price
- € 560,00 zzgl. MwSt.
- Special price
- € 460,00 zzgl. MwSt.
- Wissenschaftliche Leitung
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- Prof. Dr. Roland Werthschützky, Fachgebiet Sensor- und Messtechnik, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, Technische Universität Darmstadt
Für wen?
Das Seminar richtet sich an Beschäftigte in den Bereich Forschung & Entwicklung, Produktmanagement, Business Development, technisches Marketing, Sales, Inbetriebnahme und Services, die sich mit moderner Sensorik für mechanische Messgrößen beschäftigen oder beschäftigen möchten.
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Die Seminar-Inhalte:
Teil 1 Grundlagen
Begrüßung und Einführung
- Kennenlernen der Referenten und der Teilnehmer
- Zielsetzung des Seminars
Anwendungsgebiete sowie physikalische Messprinzipien der Druckmessung
- Absolut-, Relativ-, Differenzdruck
- Anwendungsbranchen und Anforderungen an die Druckmessung
- Arten der Druckmessung
- Vor- und Nachteile piezoresistiver MEMS-Sensoren
Grundlagen und Kennwerte von piezoresistiven Drucksensoren
- Normen
- Ein- und Ausgangsgrößen
- Kennlinien
- Linearität, Offset, Hysterese, Stabilität, Berstdruck
Design piezoresistiver Sensoren
- Einflüsse der Sensorgeometrie
- Optimierungskriterien für das Sensordesign
- Wheatstonesche Messbrücke
- Piezoresistiver Effekt
Technologien der Sensorfertigung sowie Aufbau- und Verbindungstechnik
- Waferprozessierung
- Aufbau- und Verbindungstechnik
Messverfahren und Auswerteelektronik
Teil 2 Anwendungen
Industrielle piezoresistive Drucksensoren
- Prozessmesstechnik
- Automotive
Piezoresistive Mikrosensoren für die Medizintechnik
Ausblick und zukünftige Anwendungen
- Silizium DMS und Ihre Anwendungen
Fazit
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Was lernen Sie?
Nach dem Seminar verstehen Sie die besonderen Vorteile piezoresistiver Sensoren und kennen die Grundlagen ihres Designs, zentrale Fertigungsverfahren sowie typische Methoden der Auswertung und Signalverarbeitung.
Worum geht es?
Die Messung mechanischer Größen gewinnt in Industrie und Forschung zunehmend an Bedeutung. Im Zentrum dieses Seminars steht die Druckmesstechnik mit piezoresistiven Silizium-Sensoren – Eine Schlüsseltechnologie, die seit Jahrzehnten vielfältige Anwendungen, von der klassischen Prozessmesstechnik bis hin zur modernen Medizintechnik, prägt.
Im ersten Teil des Seminars werden die physikalischen Grundlagen des piezoresistiven Effekts in dotiertem Silizium vermittelt. Aufbauend darauf erfahren Sie, wie dieser Effekt gezielt zur präzisen Druckmessung eingesetzt wird und warum piezoresistive Sensoren heute in vielen Bereichen die bevorzugte Wahl sind. Sie erhalten einen Einblick in typische Bauformen und Kennwerte, lernen die wichtigsten Schritte bei der Sensorfertigung kennen und bekommen einen Überblick über aktuelle Verfahren der Sensor-Signalverarbeitung.
Im zweiten Teil stehen praxisnahe Anwendungen im Fokus: Von klassischen Einsatzgebieten wie Prozess- und Automobilmesstechnik bis hin zu innovativen Lösungen in der Medizintechnik und für Dehnungsmessungen – Aktuelle Beispiele zeigen Ihnen das breite Spektrum piezoresistiver Sensorik und geben Anregungen für neue Anwendungen.
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Wissenschaftliche Leitung:
Prof. Dr.-Ing. habil. Roland Werthschützky
Prof. Dr.-Ing. habil. Thomas Ortlepp
